ICP光譜學是20世紀60年代提出的一種分析方法，70年代發展迅速。目前，ICP光譜儀主要分為多通道型、單通道掃描型和全光譜直讀型。它主要用于無機元素的定性和定量分析。其主要性能指標為檢出限、短時穩定性、長期穩定性和儀器分辨率。我們下面來看看如何對ICP光譜儀進行更好的維護：
?。?）進樣系統維護實驗人員應每天對進樣系統維護，包括:泵管更換，炬管清洗，通霧化器（堵塞），霧室積液排除，廢液排放和冷卻循環水監視等。
?。?）冷卻循環水維護冷卻循環水應根據情況進行維護，主要是定期更換冷卻液冷卻液應保持無霉菌等微生物、不含腐蝕成分或含有防腐（緩蝕）成分、不結垢。
?。?）氣路系統維護必須保證供應足夠純度的潔凈氬氣，氬氣的輸出壓力應維持在0.7Mpa，測試過程中避免斷氣熄火。進行短波（＜200nm）分析時對光室應充分充氣，保證紫外波段分析的穩定性0.5～1年應檢查一次氣路：過濾器變臟與否，必要時需及時進行更換：檢查氣閥壓力表或流量計狀態是否正常。
?。?）光路系統維護包括外光路和內光路的光路系統都要進行維護，外光路維護相對頻繁，尤其是內外光路的隔離窗體、外光路反光鏡表面易沾污，應3～6個月清理1次外光路，根據各元素靈敏度情況進行準直。建議每年對內光路進行1次維護。光路系統的維護建議由儀器維修工程師進行。
?。?）電控系統維護電控系統維護應由專業的工程師完成，經驗豐富人員可進行電路板的清潔維護。
?。?）軟件維護工作軟件是實驗人員對儀器的控管工具，需對軟件和數據進行控制和維護，以保障其功能正常、安全可靠?？刂茩C應設有密碼，禁止插入移動存儲器。
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